【研报快讯】
内容摘要
【研报快讯】华源证券_半导体真空系统“卖铲人”，产业+科研双轮驱动，国产替代正当时_20260716.pdf 华源证券最新研报指出，半导体真空系统作为晶圆制造关键配套设备，正迎来国产替代加速期。研报聚焦“卖铲人”逻辑，强调该领域企业不直接参与芯片制造，但为中微公司、北方华创等设备商及中芯国际等晶圆厂提供高壁垒真空泵、真空阀及集成系统。受益于国内28nm及以上成熟制程扩产与科研仪器自主化需求，行业技术门槛高、客户认证周期长，头部厂商如汉钟精机、中科仪（未上市）、安泰科技子公司等已实现部分突破。研报认为，产业端扩产+科研端进口替代双轮驱动，国产真空系统厂商有望持续提升份额。
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