半导体设备零部件专家交流要点：

半导体设备零部件专家交流要点： 零部件国产化率整体偏低，射频电源、静电卡盘等制约设备量产： 半导体零部件整体国产化率：约十几个百分点，射频电源不足20%： 总体水平：半导体领域零部件国产化率约10%几…