【磷化铟】砂浆切割与金刚线切割的工艺对比

【磷化铟】砂浆切割与金刚线切割的工艺对比 我们把砂浆切割与金刚线切割两套工艺做客观对比。砂浆切割依靠钢线携带碳化硅磨料，通过游离磨料摩擦研磨实现材料去除，是过去 Ⅲ‑Ⅴ 族化合物半导体薄片加工的主流方…