半导体设备零部件需求展望专家会议要点：

半导体设备零部件需求展望专家会议要点： 1. 半导体零部件供应整体现状与趋势 卡脖子品类与价格趋势：先进制程相关的涂层类、静电卡盘（E-chuck）、射频电源、真空类阀体等零部件当前国产化率较低，存在…