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伯恩斯坦——ASML:高数值孔径(High-NA)极紫外光刻入门——缩小永无止境
机构纪要 · 2026-09-03
摘要
伯恩斯坦——ASML:高数值孔径(High-NA)极紫外光刻入门——缩小永无止境 1. 核心逻辑:逻辑与DRAM制程持续微缩,High-NA是下一代入门技术 尽管摩尔定律放缓的担忧反复出现,但逻辑和D…
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