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#理解超纯就要理解他业务的耗材属性#

机构纪要 · 2026-08-17

摘要

#理解超纯就要理解他业务的耗材属性# 一台刻蚀机:腔体、喷淋头、介质窗、聚焦环等:长期受到等离子体轰击 → 零部件;这些零部件使用一段时间后性能下降 → 需要更换/重新处理 所以它们具有明显的耗材属性…

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