DUV for GAA

机构纪要 · 2026-09-18

摘要

DUV for GAA [玫瑰]中国科学院(CAS)微电子研究所等机构正在探索利用现有 DUV(深紫外)光刻设备以及多重曝光/图形化(Multi-patterning)技术，结合GAA(Gate-Al…

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