路透社：中国已开始生产国产浸没式深紫外（DUV）芯片制造设备——据知情人士透露。
内容摘要
中国已启动自主研发的浸没式深紫外光刻机的量产工作。据知情人士透露，上海微电子装备集团正在主导该设备的生产，预计今年将向中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等国内主要芯片制造商交付。 https://www.reuters.com/world/china/china-starts-production-home-grown-immersion-duv-chipmaking-tools-source-2026-07-28/ 来源：路透社
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